在陶瓷基板燒結(jié)成型后,表面金屬化是賦予其電氣連接功能的核心環(huán)節(jié)。該工藝通過在陶瓷表面構(gòu)建導(dǎo)電圖形,實(shí)現(xiàn)芯片與外部電路的互聯(lián)。其中,金屬層與陶瓷基體的結(jié)合力至關(guān)重要,它直接決定了最終封裝件的性能與長期可靠性。而結(jié)合力的強(qiáng)弱,在很大程度上取決于金屬在高溫下對陶瓷表面的潤濕能力。

目前,業(yè)界主流的陶瓷表面金屬化技術(shù)主要包括共燒法(HTCC/LTCC)、厚膜法(TFC)、直接敷銅法(DBC)、直接敷鋁法(DBA)、薄膜法(DPC)以及活性金屬釬焊法(AMB)等。這些技術(shù)路徑各異,特點(diǎn)分明,以滿足不同應(yīng)用場景的苛刻需求,下面由深圳金瑞欣小編來為大家講解一下這幾種技術(shù):

1. 薄膜法(DPC):精度至上的技術(shù)
DPC工藝首先通過物理氣相沉積(如濺射、蒸鍍)在陶瓷表面形成一層微米級的金屬種子層,隨后借助光刻與刻蝕技術(shù)精準(zhǔn)塑造電路圖形。
技術(shù)核心: 該工藝的關(guān)鍵在于解決銅層與陶瓷之間因熱膨脹系數(shù)不匹配而導(dǎo)致的界面剝離風(fēng)險(xiǎn)。金屬薄膜與陶瓷(如氮化鋁)的結(jié)合力是可靠性的生命線,主要源于擴(kuò)散附著和化學(xué)鍵合。因此,常選用鈦、鉻等活性金屬作為過渡層以增強(qiáng)附著力,而導(dǎo)電層則優(yōu)選銅、金等低電阻率、高穩(wěn)定性的材料。
優(yōu)勢與挑戰(zhàn): DPC最大的優(yōu)勢在于其低溫工藝(通常低于300℃),避免了高溫對材料的損傷,并降低了能耗。同時,它憑借光刻技術(shù)實(shí)現(xiàn)了極高的圖形精度(線寬可達(dá)20-30μm)和卓越的平整度,非常適于高頻、光電等對線路要求苛刻的器件封裝。其通孔填銅能力還支持三維集成。然而,DPC也存在電鍍銅層較薄、載流能力有限,以及結(jié)合強(qiáng)度相對較低、環(huán)保處理成本較高等不足。
2. 厚膜法(TFC):經(jīng)久耐用的經(jīng)典方案
TFC技術(shù)采用絲網(wǎng)印刷將特制的導(dǎo)電漿料涂覆于陶瓷基體,再經(jīng)高溫?zé)Y(jié)形成牢固的金屬化層。
技術(shù)核心: 導(dǎo)電漿料是厚膜技術(shù)的靈魂,由功能金屬(金、銀、鈀、銅等)、起粘結(jié)作用的玻璃或氧化物,以及有機(jī)載體三部分組成。粘結(jié)相是確保金屬層與陶瓷緊密結(jié)合的關(guān)鍵。
優(yōu)勢與挑戰(zhàn): TFC技術(shù)成熟,工藝流程簡單,成本效益顯著。其金屬層厚度通常在10-20μm。但缺點(diǎn)是圖形精度有限(最小線寬約0.1mm),且表面平整度與附著力易受漿料質(zhì)量和印刷工藝影響,限制了其在高端精細(xì)器件中的應(yīng)用。
3. 共燒法(HTCC/LTCC):實(shí)現(xiàn)三維集成的內(nèi)功
共燒法將陶瓷生坯與金屬電路層層疊壓后一次性燒結(jié)成型,可在基板內(nèi)部集成無源元件,實(shí)現(xiàn)高密度三維互聯(lián)。
技術(shù)核心: HTCC與LTCC工藝流程相似,但材料體系截然不同。HTCC采用氧化鋁等陶瓷,燒結(jié)溫度高達(dá)1600℃以上,必須使用鎢、鉬等高熔點(diǎn)但導(dǎo)電性較差的金屬。LTCC則在陶瓷中摻入玻璃相,將燒結(jié)溫度降至800-950℃,從而能使用導(dǎo)電性優(yōu)異的金、銀作為導(dǎo)體。
優(yōu)勢與挑戰(zhàn): 共燒基板在提高組裝密度、縮短互聯(lián)、減小體積方面優(yōu)勢巨大,是高頻模塊的理想載體。然而,其缺點(diǎn)在于絲網(wǎng)印刷導(dǎo)致的圖形精度限制,以及層壓對位和燒結(jié)收縮率控制帶來的尺寸公差問題。
4. 直接敷銅/鋁法(DBC/DBA)與活性金屬釬焊(AMB):功率封裝的基石
這類技術(shù)通過在陶瓷表面直接鍵合厚膜銅或鋁層,為大功率器件提供強(qiáng)大的電流承載和散熱通道。
DBC:利用高溫下銅-氧共晶液相對氧化鋁陶瓷的潤濕反應(yīng)實(shí)現(xiàn)鍵合。對于氮化鋁陶瓷,則需通過預(yù)氧化生成氧化鋁過渡層。其核心工藝參數(shù)是氧化溫度與時間。
AMB:作為DBC的升級技術(shù),AMB使用含鈦、鋯等活性元素的釬料,在真空環(huán)境下實(shí)現(xiàn)銅箔與陶瓷的焊接?;钚栽啬茱@著改善焊料對陶瓷的潤濕性,從而獲得遠(yuǎn)超DBC的結(jié)合強(qiáng)度和抗熱沖擊性能。
DBA:原理類似,利用液態(tài)鋁在無氧條件下對陶瓷的潤濕進(jìn)行鍵合。DBA基板質(zhì)量更輕,熱應(yīng)力更小,與鋁線鍵合兼容性極佳。
優(yōu)勢與挑戰(zhàn): DBC/AMB/DBA基板具有優(yōu)異的熱導(dǎo)率和絕緣性,銅/鋁層厚(通常>100μm),載流能力強(qiáng)大,是IGBT、激光器等功率器件的首選。其中,AMB可靠性最高,但成本也最為昂貴。它們的共同短板是圖形精度有限,難以制作精細(xì)線路。
總結(jié)
選擇合適的陶瓷金屬化技術(shù),是一場性能、精度、成本與可靠性的綜合權(quán)衡。DPC以其高精度領(lǐng)跑精細(xì)封裝;TFC以成本優(yōu)勢堅(jiān)守傳統(tǒng)市場;LTCC/HTCC以內(nèi)埋元件的三維結(jié)構(gòu)服務(wù)于高頻集成模塊;而DBC、AMB和DBA則構(gòu)成了功率電子封裝的堅(jiān)強(qiáng)支柱,其中AMB正以其超群的可靠性,日益成為新能源汽車等極端應(yīng)用場景下的新貴,金瑞欣擁有十年pcb行業(yè)經(jīng)驗(yàn),四年多陶瓷電路板制作經(jīng)驗(yàn)。為企業(yè)提供高精密單、雙面陶瓷電路板,多層陶瓷電路板定制生產(chǎn),若您有相關(guān)需求,歡迎與我們聯(lián)系,我們將竭誠為您服務(wù)。


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